半导体洁净厂房火灾自动报警系统设计

晨阳 王

摘要


随着国家对半导体产业的推进，越来越多的半导体洁净厂房开工建设。半导体洁净厂房工艺复杂，生产过程大量使用化学品和特种气体，一旦发生火灾，会有大量的伤亡损失。论文从半导体洁净厂房的基本构造和特点入手，探讨半导体洁净厂房的火灾自动报警设计。

关键词


半导体洁净厂房；火灾自动报警系统；设计

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参考


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DOI: https://doi.org/10.12346/peti.v3i4.6413

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