平板型多孔质石墨气浮轴承适配厚度研究

玉民 赵, 铸 刘

摘要


多孔质石墨气浮轴承采用气体作为润滑介质，具有摩擦系数低，摩擦阻力小，高速性能好，避免摩擦、发热等情况下对轴承的损耗，使用寿命长，适应性强等优势。本研究基于 8 英寸晶圆减薄机实际工作条件下，通过利用给定的进气面积、耗气量等条件，对多孔石墨气浮轴承适配厚度研究。通过实验和计算，得出了适配的厚度值，提高主轴适用性并分析了其对轴承性能的影响机制。

关键词


多孔质石墨；气浮轴承；透气系数；主轴适用性

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参考


王云飞.多孔质静压轴承静态性能的研究[R].机械部洛阳轴承 研究所,1982.

王云飞.气体润滑理论与气体轴承设计[R].气体润滑专业委员 会,1997.

葛载涛.多孔质气体径向轴承结构设计和性能分析[D].天津:天 津大学,2020.




DOI: https://doi.org/10.12346/etr.v6i3.9259

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